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冷壁罐式炉,温度可达 2400 ℃

VHT 系列的紧凑型罐式炉为电控加热箱式炉,采用石墨、钼、钨或 MoSi2 加热装置。无论是通过不同的加热方案还是各种附件,这些罐式炉均可以实现技术要求严格的客户工艺流程。真空气密罐既可以在保护和反应气体环境下也可以根据炉子规格在 10-5 mbar的真空环境下进行热处理。基本型电炉适用于在不易燃保护或反应气体或真空条件下的运行。H2 规格允许在氢气或其它可燃气体环境下操作。该规格的关键在于经过认证的安全工序包,它可以随时确保安全运行并在发生故障时调用导入相关的紧急程序。

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  • 技术参数
  • 质量保证

不同的加热规格

通常情况下以下的可变类型可以满足工艺要求:

VHT ../..-GR 带有石墨隔热材料和加热装置

可用于保护和反应气体或真空条件下的工艺

最高温度 1800 ℃ 或 2200 ℃ (2400 ℃ 作为额外的设备)

根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-4 mbar

石墨隔热材料
VHT ../..-MO 或 VHT ../..-W 带钼或钨加热装置

可用于保护和反应气体或高真空条件下的工艺

最高温度 1200 ℃, 1600 ℃ 或 1800 ℃ (见表)

根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-5 mbar

由钼和钨辐射片各自制成的绝缘材料

VHT ../..-KE 带有纤维隔热材料和加热装置,通过二硅化钼制成的加热元件加热

可用于保护和反应气体或空气或真空条件下的工艺

最高温度 1800 ℃

根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-2 mbar (可达 1300 ℃)

高纯氧化铝纤维制成的隔热材料

标准规格 适于所有型号

基本型

标准大小为 8 – 500 升炉腔

全侧水冷却的不锈钢制成的工艺容器,采用耐高温 O 型环密封

框架结构由牢固的不锈钢型材制成,保养方便,可轻易拆卸的不锈钢面板

VHT 8 炉型的炉膛,配有滚轮,炉子可便捷地移动

在进流和回流液路中带有手动截止阀的冷却水分配器,自动流量监控,开放式的冷却水系统

可调节的冷却水回路,带有流量和温度显示屏和过温保护装置

开关设备和控制器安装在炉膛内

H700工艺控制装置,带有7“ 触摸面板,用于程序输入和可视化操作,可以保存 10 个程序和 20个区段

带有可控制断电温度并用于符合 EN 60519-2 标准的热防护等级 2 的温度选择限制器

工艺气体和真空功能的手动操作

用于工艺气体的手动供气系统 (N2、Ar 或不易燃的混合气体),带有可调节流量

带有手动阀的旁通系统,用于炉腔快速填充或冲洗

带有溢过流阀门的手动气体排出口(相对压力为 20 mbar)用于过压操作

带有球阀的一级转阀泵,用于预抽真空并且用于在 5 mbar的粗真空下进行热处理

用于可视化压力监控的压力计

明确的应用请遵守操作手册

纳博热控制器的NTLog基本功能:用一个USB闪存记录过程数据

额外装置

VHT 40/..-GR和更大炉型最高温度2400°C

炉膛可选择隔离分区用于通过小门开口装入 (VHT 8)

用于第二种工艺气体的手动供气系统 (N2、Ar 或不易燃的混合气体),带有可调节流量和旁通阀„„钼制、钨制、石墨或 CFC 制内部工艺盒,对于排胶工艺尤其值得推荐。带有直接进气口和出气口的渗碳箱被安装在炉膛内,可以提供更好的温度均匀性。 排胶过程产生的废气将会直接从内部工艺炉膛中排出。排胶后进气路径的改变导致烧结过程中清洗工艺气氛的改变。

带有显示屏的装载热电偶

对于 2200 ℃ 以下炉型而言,通过高温计和S型热电偶进行温度测量,带有自动取出装置,确保了在较低温度范围内非常良好的控温效果 (VHT
40/..-GR 以上)„„带有球阀的二级转阀泵,用于预抽真空并且用于在良好的真空下进行热处理(可以达到10‑2 mbar)„„带有截止滑阀的涡轮分子泵用于 预抽真空和高真空下的热处理(达到10-5 mbar),包括电子压力。

传感器和增压泵

其他要求的真空泵

带有密闭冷却水回路的热交换器

带有 H3700 型工艺控制装置的自动工序包

–12“ 图像触摸面板
–通过触摸面板输入温度、加热率、供气、真空等所有工艺数据
–将所有工艺相关的数据显示在工艺流程图上
–用于工艺气体的自动供气系统 (N2、Ar 或不易燃的混合气体),带有可调节流量
–通过程序采用工艺气体对炉腔冲洗和填充的旁通阀
–自动预设和后置程序,包括用于安全运行的泄漏测试
–带有折叠阀和溢过流阀的自动气体出口(相对压力为 20 mbar)用于过压操作
–绝对和相对压力的压力传感器
Mass流量调节器,用于变换的流量并与第二种工艺气体生成混合气体(仅适于自动工序包)
分压力运行:在控制负压时导入保护气体(仅适于自动工序包)
通过 VCD 软件包对工艺进行控制和记录,或利用纳博热控制中心 NCC 进行监控

 

 

 

 

 

 

  1. „„最高温度1100 ℃或1200 ℃

  2. „„通过陶瓷加热板双面加热(L 24/11 – LT 40/12马弗炉可三面加热)

  3. „„陶瓷加热板内嵌加热丝,防止受到挥发及喷溅物的污染,易于更换

  4. „„安全纤维制成的隔热材料

  5. „„炉壳由条纹不锈钢板构成

  6. „„双层炉壳结构稳定,降低外壳温度

  7. „„炉门可免费选配外开式炉门(L)(可用于工件摆放),或上开式炉门(LT)(可避免操作者远离高温)

  8. „„炉门上设有可调节进气口(参见图示)

  9. „„炉后壁设有排气口

  10. „„加热运行噪音低,带固态继电器

  11. „„明确的应用请遵守操作手册

  12. „„纳博热控制器的NTLog基本功能:用一个USB闪存记录过程数据

 

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